平台实行7天24小时开放服务,每年大型仪器设备对外开放服务机时达2万小时,在平台开展研究工作的课题组数量100多个。平台不断研究开发新工艺,满足用户不同学科方向的加工测试需求,众多用户通过微纳加工平台获得了一批显著的科研成果,在学术领域和产业界产生了较大的影响。 在教学方面,平台支持“微纳电子材料器件分析技术”“CMOS集成电路制造技术”“集成电路制造与生产管理”“智能传感器与现代生活”等课程的开展,开设了本科生“微电子工艺实验”课程和“MEMS工艺实验”课程。 每年暑假,平台提供多个实习岗位,支持本科生暑期实习。 |